首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 MARK DETECTION IN CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6229136(A) 申请公布日期 1987.02.07
申请号 JP19850168049 申请日期 1985.07.29
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 NIIJIMA HIRONOBU
分类号 H01L21/027;H01J37/04;H01J37/305;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com