废气净化装置

摘要

本发明涉及一种废气净化装置,尤其是化学气相沉积、等离子酸洗或类似过程产生的废气净化装置,带有至少一个垂直设置在外管内的燃烧室,该燃烧室的上端由一伞形盖件限界,并带有一个内混合或外混合的燃烧室,其燃气喷嘴伸入燃烧室内,其中向燃烧器输送燃气、氧气或空气和废气,以及带有将氧化剂和/或吸附剂输送给燃烧室上方的洗涤室并将其排出的器件。本发明的目的是提出一种废气净化装置,该装置制作费用低廉并消除了先有技术的缺点。本发明的特征在于,燃烧器(12)同心固定在盖件(5)上,燃烧器(12)具有燃气喷嘴(13)和至少一个废气喷嘴(14),该废气喷嘴垂直向下指向燃烧室(6)并且在燃烧过程中产生的反应产物将沿外管(1)内侧导入洗涤室(7)内。

主权项

1.废气净化装置，尤其是化学气相沉积、等离子酸洗或类似过程产生的废气净化装置，带有至少一个垂直设置在外管内的燃烧室，由一伞形盖件对该燃烧室的上端限界，并带有一个内混合或外混合的燃烧器，燃烧器的燃气喷嘴伸入燃烧室，其中向燃烧器输送燃气、氧气或空气和废气，以及带有将氧化剂和/或吸附剂输送给燃烧室外的洗涤室并将其排出的器件，其特征在于：燃烧器(12)同心地固定在盖件(5)上，燃烧器(12)具有燃气喷嘴(13)和至少一个废气喷嘴(14)，废气喷嘴垂地向下指向燃烧室(6)并且在燃烧过程中产生的反应产物沿外管(1)内侧被导入洗涤室(7)。