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发明名称
PROCESS FOR MANUFACTURING AN INTEGRATED CMOS CIRCUIT
摘要
申请公布号
EP0838088(A1)
申请公布日期
1998.04.29
申请号
EP19960921893
申请日期
1996.07.04
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
SCHWALKE, UDO;KERBER, MARTIN
分类号
H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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