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发明名称 CLEAN TRANSFER METHOD AND SYSTEM THEREFOR
摘要
申请公布号 KR0136266(B1) 申请公布日期 1998.04.29
申请号 KR19910008271 申请日期 1991.05.22
申请人 TDK CORPORATION 发明人 TAKAHASHI, TETSHO;MIYAUCHI, EISAKLI;MIYAJIMA, TOSHIHIKO
分类号 B65D6/40;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65D6/40
代理机构 代理人
主权项
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