PROBE CARD AND TESTING DEVICE USING THE SAME,申请号JP19960263970-传众专利搜索

发明名称	PROBE CARD AND TESTING DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号	JPH10111315(A)	申请公布日期	1998.04.28
申请号	JP19960263970	申请日期	1996.10.04
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	NAKABAYASHI MASAKAZU
分类号	G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073	主分类号	G01R1/073
代理机构		代理人
主权项
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