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发明名称 FORMATION METHOD FOR METALLIC PLUG AND/OR METALLIC WIRING
摘要
申请公布号 JPH10112499(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19970037793 申请日期 1997.02.21
申请人 SONY CORP 发明人 HARA MASATERU
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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