发明名称 PIEZOELECTRIC SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10111197(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960264858 申请日期 1996.10.04
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 TAKAGI YUTAKA
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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