发明名称 PLASMA FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10110262(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960281794 申请日期 1996.10.02
申请人 NIPPON LASER DENSHI KK 发明人 YONEDA KATSUMI
分类号 C23C14/32;C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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