| 发明名称 |
SAMPLE PREPARING DEVICE AND ELECTRON MICROSCOPE FOR OBSERVING THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10111223(A) |
申请公布日期 |
1998.04.28 |
| 申请号 |
JP19960264067 |
申请日期 |
1996.10.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOKIDA RURIKO;KAKIBAYASHI HIROSHI;TAKAGUCHI MASANARI;NAKAMURA KUNIYASU |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N1/32;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/30;(IPC1-7):G01N1/28 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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