发明名称 HIGH FREQUENCY WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10109072(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960264175 申请日期 1996.10.04
申请人 PURETETSUKU:KK;DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SHIBA KAZUHIKO;NISHIZAWA HISAO;UCHIDA HIROAKI
分类号 B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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