ION-IMPLANTING DEVICE,申请号JP19960286072-传众专利搜索

发明名称	ION-IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10112277(A)	申请公布日期	1998.04.28
申请号	JP19960286072	申请日期	1996.10.08
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;BARIAN JAPAN KK	发明人	MITSUI MITSURU
分类号	C23C14/48;H01J37/248;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
主权项
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