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发明名称
THIN LAYER FORMING METHOD AND ITS MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR0138071(B1)
申请公布日期
1998.04.27
申请号
KR19930014528
申请日期
1993.07.29
申请人
MATSUHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人
YANO, KOUSAKU;ENDO MASAYUKI;TERAI, YUKA;NOMURA, NOBORU;MURAKAMI, TOMOYASU;UEDA, TETSUYA;UEDA, SATOSHI
分类号
H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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