发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PULVERIZING SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 KR0137336(B1) 申请公布日期 1998.04.25
申请号 KR19940010780 申请日期 1994.05.17
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK GRUNDSTOFFE MBH 发明人 FRANZ, KOEPPL;MATTHAEUS, SCHANTZ
分类号 B02C19/06;H01L21/304;(IPC1-7):B02C19/06;B02C19/18 主分类号 B02C19/06
代理机构 代理人
主权项
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