| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0136377(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
KR19890007602 |
申请日期 |
1989.06.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KURODA, KENICHI;MATSUO, AKINORI |
| 分类号 |
G11C17/08;G06F15/78;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115 |
主分类号 |
G11C17/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
