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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10107209(A) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 JP19960257066 申请日期 1996.09.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TAKENAKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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