| 发明名称 |
SULFUR DOPING METHOD FOR GAAS LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10106954(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960275295 |
申请日期 |
1996.09.27 |
| 申请人 |
YUPITERU IND CO LTD |
发明人 |
MOTOYAMA SHINICHI;TANOUE KENJI |
| 分类号 |
H01L21/225;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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