| 发明名称 |
MANUFACTURE OF METAL OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10107381(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960258083 |
申请日期 |
1996.09.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TANAKA KIYOTAKE;ADACHI HIDETO;KIDOGUCHI ISAO |
| 分类号 |
G02B5/08;C23C14/08;C23C14/32;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
G02B5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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