发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10107202(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
申请号 |
JP19960256111 |
申请日期 |
1996.09.27 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJIMOTO HIROAKI;TAKEHASHI NOBUITSU |
分类号 |
H01L25/18;H01L25/04;H01L25/065;H01L25/07;(IPC1-7):H01L25/04 |
主分类号 |
H01L25/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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