| 发明名称 |
PROBE DEVICE AND INSPECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10107099(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960254684 |
申请日期 |
1996.09.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KONO RYUJI;KUMAZAWA TETSUO;ISHINO MASAKAZU;KITANO MAKOTO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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