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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING DIELECTRIC FILM
摘要
申请公布号 JPH10107028(A) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 JP19970150305 申请日期 1997.05.22
申请人 LSI LOGIC CORP 发明人 SUKHAREV VALERIY K
分类号 H01L21/31;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/48;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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