发明名称 DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10107237(A) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 JP19960259235 申请日期 1996.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANZAWA KATSUJIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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