发明名称 |
MINUTE DISPLACEMENT MEASURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10104245(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
申请号 |
JP19960255679 |
申请日期 |
1996.09.27 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OKIGUCHI KEIKO;OSAWA HISAO |
分类号 |
G01B11/00;G01B21/30;G01C3/06;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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