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发明名称 HIERACHICAL CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH10106909(A) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 JP19960262763 申请日期 1996.10.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWASAKI TAKEMASA;SUZUKI YASUMICHI
分类号 F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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