| 发明名称 |
HIGH-SPEED ATOMIC BEAM SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10106798(A) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
JP19960278664 |
申请日期 |
1996.09.30 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
ICHIKI KATSUNORI;HATAKEYAMA MASAKI;TAIMA YASUSHI |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J27/02;H01J37/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02;H01L21/306 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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