Rotatable magnetron including a replacement targetstructure.,申请号PH19460000509-传众专利搜索

发明名称	Rotatable magnetron including a replacement targetstructure.
摘要
申请公布号	PH31196(A)	申请公布日期	1998.04.24
申请号	PH19460000509	申请日期	1995.07.19
申请人	THE BOC GROUP, INC.	发明人	BOWER, JOHN, H.
分类号	C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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