发明名称 LOW ABERRATION FIELD EMISSION ELECTRON GUN
摘要
申请公布号 KR0137199(B1) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 KR19920003668 申请日期 1992.03.04
申请人 ETEC SYSTEM INC. 发明人 GESLEY, MARK A.
分类号 H01J3/02;H01J37/073;H01J37/08;H01J37/12;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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