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经营范围
发明名称
LOW ABERRATION FIELD EMISSION ELECTRON GUN
摘要
申请公布号
KR0137199(B1)
申请公布日期
1998.04.24
申请号
KR19920003668
申请日期
1992.03.04
申请人
ETEC SYSTEM INC.
发明人
GESLEY, MARK A.
分类号
H01J3/02;H01J37/073;H01J37/08;H01J37/12;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
H01J3/02
代理机构
代理人
主权项
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