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发明名称 POLY CRYSTALLINE SILICON FABRICATION FOR TFT
摘要
申请公布号 KR0133490(B1) 申请公布日期 1998.04.23
申请号 KR19930028692 申请日期 1993.12.21
申请人 KOREA ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH 发明人 SONG, YUN-HO;YU, BYUNG-KON;NAM, KI-SOO
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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