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发明名称 POLISHSTOP PLANARIZATION STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR0133483(B1) 申请公布日期 1998.04.23
申请号 KR19940003105 申请日期 1994.02.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP 发明人 BURKE, PETER A.;LEACH, MICHAEL A.
分类号 H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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