| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0278232(A) |
申请公布日期 |
1990.03.19 |
| 申请号 |
JP19880228676 |
申请日期 |
1988.09.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
GOSHIMA SHIGEO;KOBAYASHI MASAYOSHI;USAGAWA TOSHIYUKI;TAKAHASHI SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/00;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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