发明名称 Gerät und Verfahren zur Niederschlagung durch einen Kollimator
摘要
申请公布号 DE69129081(D1) 申请公布日期 1998.04.23
申请号 DE19916029081 申请日期 1991.01.24
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 DEMARAY, RICHARD ERNEST, OAKLAND, CALIFORNIA 94608, US;HELMER, JOHN C, MENLO PARK, CALIFORNIA 94028, US;PARK, YOUNG HOON, SAN RAMON, CALIFORNIA 94583, US;COCHRAN, RONALD R, MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIA 94043, US;HOFFMAN, VANCE EBER JR, LOS ALTOS, CALIFORNIA 94022, US
分类号 C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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