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<p>Um während eines Beschichtungsprozesses eine Aussage über die zu erwartende Qualität der durch die thermische Beschichtungsvorrichtung (17) auf ein Substrat aufgetragenen Schicht machen zu können, wird eine Einrichtung vorgeschlagen, die eine Vielzahl von Sensoren (3a) aufweist und/oder mit optischen Mitteln versehen ist, um die Strahlung in einem Abschnitt des Beschichtungsstrahls (19), in seiner Querausdehnung messtechnisch in einzelne Bereiche aufgeteilt, zu erfassen. Zur Auswertung der gemessenen Signale sind der Sensoranordnung elektronische Mittel nachgeschaltet. Eine derartige Einrichtung ermöglicht den Beschichtungsstrahl systematisch zu überwachen. Aufgrund der an der Sensoranordnung (3) anliegenden Signale kann die räumliche Intensitätsverteilung der von den erhitzten Partikeln (20) emittierten Strahlung ermittelt und als relevante Grösse zur qualitativen Beurteilung und/oder Beeinflussung der zu erwartenden Schichtqualität herangezogen werden. <IMAGE></p> |
