首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 AN IMPROVED METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING OPTIMAL ENDPOINTS IN PLASMA ETCH PROCESSES
摘要
申请公布号 EP0836745(A1) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 EP19960922605 申请日期 1996.06.28
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LIU, ALEXANDER, F.
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com