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发明名称 Microwave plasmas producing device
摘要
申请公布号 EP0593931(B1) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 EP19930115362 申请日期 1993.09.23
申请人 ENGEMANN, JUERGEN PROF. DR.-ING. 发明人 ENGEMANN, JUERGEN, PROF. DR. ING.;WERNER, FRANK, DIPL.-PHYS.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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