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发明名称 LOW PRESSURE CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0116697(Y1) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 KR19940013732U 申请日期 1994.06.14
申请人 HWANG, CHOL-JOO 发明人 HWANG, CHOL-JOO
分类号 G03F7/00;H01L21/205;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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