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发明名称 WAFER CASSETTE GUIDE
摘要
申请公布号 KR0116365(Y1) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 KR19940020886U 申请日期 1994.08.18
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 LIM, DONG-KOOK;PARK, JONG-JOON;KANG, YONG
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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