| 主权项 |
1.一种检测在一个非惰性气体配送系统中于使用状态下之腐蚀敏感性元件由于一内部泄漏而功能不正常或是已经损坏失效之方法,包含以下之步骤:将非惰性气体流通过一个提供有一个腐蚀敏感性元件之气体配送系统;当该非惰性气体正流通过该气体配送系统之际,决定在该气体配送系统中之该腐蚀敏感性元件之工作输出压力;将在该气体配送系统中之气体流动关掉,至少系周期性地关掉;在没有气体流动通过该气体配送系统之时,量测该腐蚀敏感性元件之输出压力;当介于该腐蚀敏感性元件之该工作输出压力与没有气体流动通过该气体配送系统时该腐蚀敏感性元件之输出压力之间之压力差,超过一个预先设定値之时,决定该腐蚀敏感性元件有功能不正常或是已经损坏失效之情形存在。2.如申请专利范围第1项中所述之检测在一个非惰性气体配送系统中于使用状态下之腐蚀敏感性元件由于一内部泄漏而功能不正常或是已经损坏失效之方法,其中该决定该腐蚀敏感性元件有功能不正常或是已经损坏失效之情形存在之步骤,系包括当该压力差超过一个第一预先设定値之时,决定该腐蚀敏感性元件系为功能不正常之开始,以及当该压力差超过一个大于该第一预先设定値之第二预先设定値之时,决定该腐蚀敏感性元件系为已经损坏失效。3.如申请专利范围第1项中所述之检测在一个非惰性气体配送系统中于使用状态下之腐蚀敏感性元件由于一内部泄漏而功能不正常或是已经损坏失效之方法,其中该决定该腐蚀敏感性元件有功能不正常或是已经损坏失效之情形存在之步骤,系包括当该压力差介于0.5公斤重/平方公分与1公斤重/平方公分之间时,决定该腐蚀敏感性元件系有功能不正常之情形存在。4.如申请专利范围第1项中所述之检测在一个非惰性气体配送系统中于使用状态下之腐蚀敏感性元件由于一内部泄漏而功能不正常或是已经损坏失效之方法,其中该决定该腐蚀敏感性元件有功能不正常或是已经损坏失效之情形存在之步骤,系包括当该压力差大于1公斤重/平方公分之时,决定该腐蚀敏感性元件系有已经损坏失效之情形存在。5.如申请专利范围第1项中所述之检测在一个非惰性气体配送系统中于使用状态下之腐蚀敏感性元件由于一内部泄漏而功能不正常或是已经损坏失效之方法,其中该非惰性气体系选自包含于下列之各群气体中:腐蚀性气体与反应性气体。6.一种检测在一个包括有一个阀装置、一个质量流量控制计、一个压力调节器以及管材之腐蚀性或反应性气体配送系统之操作状态之方法,包含以下之步骤:将气体流通过该含有用于调节通过管线之气体流动之压力调节器之气体配送系统;在气体流动通过该管线之过程中以及在没有气体流动通过该管线之时,监测邻近该压力调节器之出口处出口压力;以及基于没有气体流动通过该气体配送系统时,该压力调节器之出口压力之改变,以决定该气体配送系统之操作状态。7.如申请专利范围第6项中所述之检测在一个包括有一个阀装置、一个质量流量控制计、一个压力调节器以及管材之腐蚀性或反应性气体配送系统之操作状态之方法,其中该决定该气体配送系统之操作状态之步骤,系包括:介于当该气体正流通过该管线之时该压力调节器之出口压力与当没有气体流动之时该压力调节器之出口压力之间之压力差,如果超过一个第一预先设定値之时,决定该气体配送系统系功能不正常。8.如申请专利范围第7项中所述之检测在一个包括有一个阀装置、一个质量流量控制计、一个压力调节器以及管材之腐蚀性或反应性气体配送系统之操作状态之方法,其中该决定该气体配送系统之操作状态之步骤,系包括:介于当该气体正流通过该管线之时该压力调节器之出口压力与当没有气体流动之时该压力调节器之出口压力之间之压力差,如果超过一个至少等于该第一预先设定値之第二预先设定値时,决定该气体配送系统系已经损坏失效。9.如申请专利范围第8项中所述之检测在一个包括有一个阀装置、一个质量流量控制计、一个压力调节器以及管材之腐蚀性或反应性气体配送系统之操作状态之方法,其中第二预先设定値系大于1.0公斤重/平方公分。10.如申请专利范围第7项中所述之检测在一个包括有一个阀装置、一个质量流量控制计、一个压力调节器以及管材之腐蚀性或反应性气体配送系统之操作状态之方法,其中第一预先设定値系介于0.5公斤重/平方公分与1.0公斤重/平方公分之间。11.一种检测在一个具有至少一个打开位置与一个关闭位置之部件中之外部泄漏之方法,其中该部件在该打开位置时气体会流动且在该关闭位置时气体不会流动,包含以下之步骤:决定当该部件于关闭位置时,当受压气体出现于该部件之入口侧之际,来自该部件之气体之出口压力,相较于当该部件处于打开位置时该气体之压力时之下降値。图示简单说明:第一图系为一个示意图,例示一个压力调节器之各个部分;第二图系为一个示意图,例示结合有该描述于第一图中之压力调节器之一个气体流动配送系统。第三图系为一个图表,例示该描述于第一图中之压力调节器在某种操作状态过程中之压力相对于时间之变化;第四A图系为一个图表,例示该显示于第一图中之压力调节器之输出压力相对于在一个适当操作之压力调节器中之圆桶数目之改变所发生之变化;第四B图系为一个图表,例示该显示于第一图中之压力调节器之输出压力相对于在一个功能不正常之压力调节器中之圆桶数目之改变所发生之变化;以及第四C图系为一个图表,例示该显示于第一图中之压力调节器之输出压力相对于在一个已经损坏失效之压力调节器中之圆桶数目之改变所发生之变化。 |
