| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF TUNGSTEN BRONZE TYPE OXIDE DIELECTRIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10102254(A) |
申请公布日期 |
1998.04.21 |
| 申请号 |
JP19960292197 |
申请日期 |
1996.09.27 |
| 申请人 |
KOJUNDO CHEM LAB CO LTD |
发明人 |
HOCHIDO YUKO;KADOKURA HIDEKIMI;MATSUMOTO MASAMICHI;OKUHARA YUMIE;YOKOYAMA HIDECHIKA |
| 分类号 |
C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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