| 发明名称 |
SILICON OXIDE PROBE FOR REAL-TIME MONITORING/CONTROL OF OXYGEN IN CZOCHRALSKI GROWTH OF SINGLE CRYSTAL SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10101483(A) |
申请公布日期 |
1998.04.21 |
| 申请号 |
JP19970262738 |
申请日期 |
1997.09.09 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRON MATERIALS INC |
发明人 |
HOLDER JOHN D |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B29/06;G01N33/00;G01N33/20;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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