CHAMFERING AND SURFACE POLISHING DEVICE OF SEMICONDUCTOR WAFER,申请号JP19970212334-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CHAMFERING AND SURFACE POLISHING DEVICE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH10100053(A)	申请公布日期	1998.04.21
申请号	JP19970212334	申请日期	1997.08.06
申请人	MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP	发明人	KAWAGUCHI AKIRA;KIMURA SHIGERU;YANOO AKIHITO;TSURUTA SHOJI;KUMABE SHIGEO;TAKADA MASAO
分类号	B24B9/00;B24D13/08;(IPC1-7):B24B9/00	主分类号	B24B9/00
代理机构		代理人
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