发明名称 ULTRAPURE WATER SUPPLY PLANT EQUIPPED WITH ULTRAFILTRATION FUNCTION AND SUPPLY OF ULTRAPURE WATER
摘要
申请公布号 JPH1099855(A) 申请公布日期 1998.04.21
申请号 JP19970012279 申请日期 1997.01.27
申请人 SONY CORP 发明人 TAKENOUCHI SHUICHI
分类号 B01D61/08;B01D61/18;B01D61/58;B01D65/00;C02F1/44;H01L21/304;(IPC1-7):C02F1/44 主分类号 B01D61/08
代理机构 代理人
主权项
地址