| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR WORKING WAFER CHAMFERING PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10100050(A) |
申请公布日期 |
1998.04.21 |
| 申请号 |
JP19960256858 |
申请日期 |
1996.09.27 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA FUMIHIKO;KURODA YASUYOSHI;YAMADA MASAYUKI |
| 分类号 |
B24B9/00;B24B9/06;B24B33/04;(IPC1-7):B24B9/00 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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