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经营范围
发明名称
VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10102235(A)
申请公布日期
1998.04.21
申请号
JP19960257023
申请日期
1996.09.27
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KONO YOSHISUKE
分类号
B01J3/00;C23C14/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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