发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10102235(A) 申请公布日期 1998.04.21
申请号 JP19960257023 申请日期 1996.09.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KONO YOSHISUKE
分类号 B01J3/00;C23C14/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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