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发明名称 DEVICE FOR CRYSTAL GROWTH BY MOLECULAR BEAM
摘要
申请公布号 JPH10101476(A) 申请公布日期 1998.04.21
申请号 JP19960280396 申请日期 1996.09.30
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 YOSHIMURA MASASHI
分类号 C30B23/08;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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