| 发明名称 |
FINE POLISHING COMPOSITION FOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0130900(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.20 |
| 申请号 |
KR19880017853 |
申请日期 |
1988.12.29 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
SASAKI, SHIGEO |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306;(IPC1-7):C09K3/14 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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