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发明名称
HIGH FREQUENCY SPUTTERING DEVICE AND FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04218671(A)
申请公布日期
1992.08.10
申请号
JP19910087385
申请日期
1991.03.28
申请人
ANELVA CORP
发明人
HIRATA KAZUO
分类号
C23C14/40;C23C14/54
主分类号
C23C14/40
代理机构
代理人
主权项
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