METHOD FOR CONTROLLING HIGH VACUUM PRESSURE OF TRANSPORT MODULE AND APPARATUS THEREOF,申请号KR19940025177-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR CONTROLLING HIGH VACUUM PRESSURE OF TRANSPORT MODULE AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号	KR0135032(B1)	申请公布日期	1998.04.20
申请号	KR19940025177	申请日期	1994.09.30
申请人	KOREA ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE	发明人	JANG, WON-IK;JUNG, KI-RO;LEE, JONG-HYUN
分类号	H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
地址