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发明名称
SUBSTRATE POSITIONING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10100036(A)
申请公布日期
1998.04.21
申请号
JP19960256949
申请日期
1996.09.27
申请人
HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD
发明人
TOUJIYOU KENJIROU;OTAKA TAKASHI;NEKATA TAKEYASU;NISHIMURA YUICHI
分类号
G02F1/13;B23Q3/18;G02F1/1333;(IPC1-7):B23Q3/18;G02F1/133
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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