| 发明名称 |
Method of and apparatus for interferometrically inspecting a surface of an object |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG48331(A1) |
申请公布日期 |
1998.04.17 |
| 申请号 |
SG19960008954 |
申请日期 |
1993.06.18 |
| 申请人 |
BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD |
发明人 |
FILLARD JEAN-PIERRE;MONTGOMERY PAUL CHRISTOPHER |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01J3/453;G01J9/02;G01N21/00;G01N21/45;G01N21/55;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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