| 发明名称 |
WET TREATMENT AND EQUIPMENT THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH057806(A) |
申请公布日期 |
1993.01.19 |
| 申请号 |
JP19910166707 |
申请日期 |
1991.07.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASAKI HIROSHI;HIROSE HIDEYUKI;SASAKI HARUO;AOKI AKIRA;MATSUYAMA SHIGERU |
| 分类号 |
B05B13/02;B05D1/02;G02F1/13;G03F7/26 |
主分类号 |
B05B13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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