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发明名称 Treatment apparatus
摘要
申请公布号 SG47806(A1) 申请公布日期 1998.04.17
申请号 SG19960004460 申请日期 1994.06.06
申请人 TOKYO ELECTRON KABUSHIKI KAISHA 发明人 IWAI HIROYUKI;OKURA RYOTCHI;ASANO TAKANOBU;TANIFUJI TAMOTSU
分类号 B65G1/00;B65G49/00;B65G49/07;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
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